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OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TGkine-R系列

磁懸浮復(fù)合分子泵具備了磁懸浮復(fù)合分子泵(控制器?電源一體型)TGkine-B系列優(yōu)秀的產(chǎn)品性能，本系列更搭載了將工作數(shù)據(jù)、軸承使用次數(shù)等記憶在泵本體中的存儲(chǔ)功能，即使在維修期間更換控制器，也能夠傳輸數(shù)據(jù)。

OSAKA大阪真空磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號(hào)：

TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■ 省電設(shè)計(jì)      
■ 在真空泵本體中，可存儲(chǔ)設(shè)置參數(shù)，運(yùn)轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。  
※即使在維護(hù)階段更換控制器，也可實(shí)現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。      
■ 支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）      
■ 適用于國(guó)際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2

使用場(chǎng)合：

■ 半導(dǎo)體制造設(shè)備
■ FPD制造設(shè)備
■ 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備
■ 玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
■ 鍍膜工藝
■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器

技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)※1

TGkine3300M-R

TGkine3400M-R

吸氣口法蘭

VG300 / ISO-B320

VG350

排氣口法蘭※2

KF40 / KF50

排気速度

N2 (L/s)

3300

N(付帶金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s)

3100

H2 (L/s)

2700

最大壓縮比

N2

>1×108

H2

3×103

最大氣體流量※3、※4

N2 (sccm)

2600

Ar (sccm)

1900

起動(dòng)時(shí)間

(min)

≦11

停止時(shí)間

(min)

≦13

到達(dá)壓力※5

(Pa）

<2×10-7

(Torr）

<1.5×10-9

最大排氣口壓力※6

(Pa)

110

(Torr）

0.82

推薦前級(jí)泵

(L/min)

≧2000

安裝方向

任意

質(zhì)量

(kg)

64 / 65

67