發(fā)布時(shí)間： 2024-02-25 點(diǎn)擊次數(shù)： 1183次
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時(shí)，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達(dá)到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會(huì)對(duì)被測物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點(diǎn)的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。
以下是使用氦質(zhì)譜檢漏儀的一般步驟：
1、準(zhǔn)備工作
確保氦質(zhì)譜檢漏儀處于正常工作狀態(tài)，檢查設(shè)備各部件是否完好。
準(zhǔn)備氦氣瓶并連接到氦氣充填系統(tǒng)。
打開檢漏儀的電源，等待設(shè)備預(yù)熱并達(dá)到工作狀態(tài)。
2、設(shè)置參數(shù)
在控制面板或計(jì)算機(jī)軟件上設(shè)置檢測參數(shù)，如氦氣流量、檢測靈敏度等。
確保質(zhì)譜儀的工作參數(shù)正確設(shè)置，如質(zhì)譜范圍、掃描速度等。
3、準(zhǔn)備待檢測系統(tǒng)
將待檢測系統(tǒng)或容器放置在樣品室中，并確保密封良好。
連接待檢測系統(tǒng)與氦氣充填系統(tǒng)，確保氦氣可以進(jìn)入系統(tǒng)內(nèi)部。
4、開始檢測
打開氦氣充填系統(tǒng)，讓氦氣進(jìn)入待檢測系統(tǒng)。
啟動(dòng)質(zhì)譜儀，開始檢測待檢測系統(tǒng)中的氦氣濃度。
監(jiān)控質(zhì)譜儀顯示的氦氣濃度數(shù)據(jù)，尋找可能的泄漏點(diǎn)。
5、定位泄漏點(diǎn)
移動(dòng)氦氣檢測探頭，逐步對(duì)系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢測。
當(dāng)質(zhì)譜儀顯示氦氣濃度升高時(shí)，表明可能存在泄漏點(diǎn)，需停止移動(dòng)探頭并進(jìn)行確認(rèn)。
6、確認(rèn)泄漏點(diǎn)
確認(rèn)泄漏點(diǎn)的位置后，可以使用其他方法進(jìn)行修復(fù)，如密封漏點(diǎn)或更換損壞部件。
重新進(jìn)行泄漏檢測，確保泄漏問題已解決。
7、結(jié)束操作
關(guān)閉氦氣充填系統(tǒng)和質(zhì)譜儀，斷開連接。
關(guān)閉氦氣瓶，確保系統(tǒng)內(nèi)氦氣排空。
關(guān)閉檢漏儀的電源，進(jìn)行設(shè)備的清潔和維護(hù)工作。
8、記錄和報(bào)告
記錄檢測過程中的參數(shù)設(shè)置、檢測結(jié)果等信息。
根據(jù)檢測結(jié)果生成檢測報(bào)告，包括泄漏點(diǎn)位置、泄漏量等信息。
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