氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時，將被測物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理，以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進行分析，通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測物體是否存在泄漏。

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是一種高靈敏度、高精度的檢漏工具，其優(yōu)勢主要包括以下幾點：

　　1、高靈敏度：可以探測非常微小的氣體泄漏，通常能夠檢測到每年少于0.01克/年的泄漏量。這種高靈敏度使得成為工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中*工具。

　　2、高精度：可以測量極小的氣體流量，并且具有極小的誤差。這種高精度有利于確定泄漏的位置和大小，從而更快速地進行維修和保養(yǎng)。

　　3、多功能性：可以檢測多種氣體，如氫、氖、氦、氧、氮、二氧化碳等。這種多功能性使得可以應用于各種不同的行業(yè)和領(lǐng)域，如航空航天、半導體制造、石油化工、醫(yī)療器械等。

　　4、安全性：采用非侵入式檢測方法，不需要對被檢測物體進行破壞性操作或使用有害的探測介質(zhì)。這種安全性使得成為一種非常安全和可靠的檢測工具。

　　5、可追溯性：測試結(jié)果可以追溯到國際標準單位（SI），確保了測試數(shù)據(jù)的準確性和可比性。這種可追溯性對于需要精確量化的生產(chǎn)和科學研究尤為重要。

　　6、自動化：通常具有自動控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以大大提高檢測效率和數(shù)據(jù)分析能力，減少人為誤差。

　　總之，氦質(zhì)譜檢漏儀具有高靈敏度、高精度、多功能性、安全性、可追溯性和自動化等優(yōu)勢，在各種行業(yè)和領(lǐng)域中得到廣泛應用。